一、真空等離子清洗機選用非反應性氣體的作用機理

　　等離子清洗機使用的工藝氣體如Ar，He，H2等是非反應性氣體。這些氣體原子不直接進入到高分子材料表面的大分子鏈中，但由于這些非反應性氣體等離子中的高能粒子對材料表面的轟擊，進行能量傳遞，產生大量的自由基，借助于這些自由基在材料表面形成雙鍵和交聯的結構，所以非反應性氣體等離子體在材料表面形成薄薄的致密的交聯層，不僅改變了材料表面的自由能，而且還可以減少高分子內部低分子物質（增塑劑、抗氧劑等）的滲出。氫等離子體放電

　　當選用惰性氣體進行等離子表面處理時，如果被處理的高分子材料本身含有氧，則會因大分子斷裂分解而形成大分子碎片進入等離子體內，向等離子體系統提供了氧，也將產生氧等離子體的效果。如果材料本身不含氧，用惰性等離子體處理之后新生的自由基（半衰期可達2~3天）和空氣中的氧作用也會導致氧結合到大分子鏈上,所以惰性氣體等離子體處理含氧的高分子材料時，將出現交聯刻蝕，引入極性基團三者的競爭反應，對于不含氧的高分子材料，只是處理后與空氣中的氧作用而引進含氧基團。

　　二、真空等離子清洗機選用反應性氣體的作用機理

　　選用反應性氣體（常見的反應性氣體是O2、N2）時，高分子材料在反應性氣體的等離子體作用下，材料表面微觀結構發生變化；而且由于O2，N2的化學活性，可直接結合到大分子鏈上，從而改變了高分子材料表面的化學組分，如高分子材料在含氧等離子體基團作用下發生氧化反應。

　　發生的表面氧化反應與通常的熱氧化反應不同，它在反應過程中生成大量的自由基，并借助于自由基進行連鎖反應。不僅引入了大量的含氧基團，如羧基（COOH）,羰基（C=O）,羥基（OH）等；而且由于氧對材料表面的氧化分解，還產生刻蝕作用，親水性明顯增強。對于不同的材料所引入的基團的數目和形式也不同。

　　此外CO2，CO，H2O及空氣中一些含氧的氣體在等離子體狀態下也可分解為原子氧，同樣具有氧等離子體的作用。N等離子體中有N，N+，N-，NM（亞穩態），N*，N等活性粒于參與反應，一部分活性N使大分子解體形成HCN，NH3以及其他低分子物質，另一部分則與材料表面形成自由基或不飽和基反應，并結合到大分子鏈上；同樣NO，NO2和N有類似作用。除O2，N2外，F等離子體也具有較高的反應性,可以迅速地使聚烯烴表面氟化，降低表面自由能。